第380章 AMSL的救命稻草(2/2)
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并且,这样还能使晶圆在每次曝光时保持绝对水平,这对使光线正确聚焦光刻胶的薄层非常重要。”</p>
凯茜:“知道了,老板。能先克制住你分享的热情,先让我把饭吃完吗?”</p>
赵德彬:“好的,好的。”</p>
两分钟后……</p>
赵德彬(再次兴致勃勃):</p>
“凯茜,你知道吗?</p>
asl已经向彗普提出了要求,让彗普开发5自由度的干涉仪,以便实时跟踪所有晶圆台的运动,关键是确保在曝光期间,整个焦平面与晶圆上的光刻胶层重合。</p>
垂直对准1微米厚的光刻胶层,并在单侧22毫米的图像场上使其保持水平,这就像将足球场那么大的面积垂直对齐到1毫米的高度。</p>
为此,natb开发了一个高度计,可以确定从镜头到晶圆的距离以及所有角落的偏差,蔡思会负责开发相关的光学元件。”</p>
凯茜(太阳穴突突直跳):“我就不应该跟你坐在一起,我应该让asl的技术总监跟你一桌,我相信你们之间会有说不完的话。”</p>
赶在赵德彬再次张口吐出“晶圆”、“光刻”一类的词汇之前,凯茜决定以毒攻毒:</p>
“关于设备构造和原理,你在上午已经看得差不多了,下午没必要再看了。</p>
午饭后,我们会展开首轮关于价格的谈判,你作为实际的决策者和出资人,需要出席会议。”</p>
赵德彬登时就不再说话了。</p>
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